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折叠膜气体过滤

GIST 超纯气体过滤器

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  • 电子级超纯气体高效过滤

    优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
    GIST超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达1.5nm，设备结构紧凑，强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性，特别适用于惰性气体和反应性气体的过滤。

     

     

    产品特色
    - 316L 不锈钢电子级抛光外壳
    - 高通量低压损
    - 优异的化学相容性
    - 耐高温、高压
    - 100％完整性测试
    - 100％氦气泄漏测试
    - 洁净室制造和包装

GIST 超纯气体过滤器
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  • GIST 超纯气体过滤器

产品参数

  • 最大操作压力:
    52 Bar@80°C
    最大允许压降:
    正向: 7 bar / 21°C
    反向: 3.4 bar / 21°C
    最高操作温度:
    PP: 80°C / PFA: 180°C
    气体流速:
    推荐工作流速: 0-300slpm

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