折叠膜气体过滤
GIST 超纯气体过滤器
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电子级超纯气体高效过滤优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
GIST超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达1.5nm，设备结构紧凑，强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性，特别适用于惰性气体和反应性气体的过滤。产品特色
- 316L 不锈钢电子级抛光外壳
- 高通量低压损
- 优异的化学相容性
- 耐高温、高压
- 100％完整性测试
- 100％氦气泄漏测试
- 洁净室制造和包装
产品参数
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最大操作压力:
52 Bar@80°C
最大允许压降:
正向: 7 bar / 21°C
反向: 3.4 bar / 21°C
最高操作温度:
PP: 80°C / PFA: 180°C
气体流速:
推荐工作流速: 0-300slpm
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