FPD面板
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FPLF 系列光化学过滤器为三角形排布接口，搭配管路接头均可实现快速拆装，适用于去离子水、显影液、
光抗蚀剂等光化学试剂，应用范围广泛。
化学兼容性： 显影液、光抗蚀剂等光化学试剂
产品特点
低析出： 金属离子、有机物、非挥发性
残留物物质低析出管控。
超净工艺： 加强清洗技术减少颗粒脱落和微气泡形成。
灵活适配： 多种膜材料（UPE、Nylon、
PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可选。
典型应用
光刻胶
显影液
溶剂类
技术参数
滤材
超高分子量聚乙烯、尼龙、
疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）
骨架与端盖
聚乙烯（PP）
支撑与分水层
聚乙烯（PP）
密封圈
全氟醚（FFKM）
最高使用温度40℃
最大正向压差
2.7bar@25℃
最大操作压力
3.4bar@25℃
有效过滤面积
800 cm² 至 3200 cm²
产品参数
关联应用
相关元件
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