全氟一体式过滤器 VIGOROSO

专为先进湿法刻蚀清洗工艺设计

高通量，化学兼容性广泛
全聚四氟乙烯 (PTFE) 过滤解决方案专为先进湿法刻蚀清洗工艺 (WEC) 设计，在确保卓越洁净度的同时有效去除各种酸、碱和其他工艺化学品中的颗粒，兼具广泛的化学兼容性和高通量特性。

产品特色
- 多面积可选、高流量、长寿命
- 卓越的化学兼容性
- 100% 完整性测试
- 高滤效，能有效去除湿化品中的颗粒
- 焊接无添加剂，采用全氟材料热粘合工艺
- 预湿过滤器，可在水基化学品中快速启动
- 洁净室环境中制造
- 初始洁净度高，低颗粒脱落，更低的金属离子析出

典型应用
- 半导体湿法刻蚀、清洗
- 高纯化学品生产、罐装、输送

技术参数
- 壳体：可熔性聚四氟乙烯(PFA)
- 滤材：疏水聚四氟乙烯(PTFE)、改性PTFE
- 骨架与端盖：可熔性聚四氟乙烯(PFA)
- 支撑与分水层：可熔性聚四氟乙烯(PFA)
- 最高使用温度：180℃
- 最大正向压差：4.4bar@25℃(63.8psid@77°F)；0.5bar@180℃(7.2psid@356°F)
- 最大反向压差：3.4bar@25℃(49.3psid@25°F)

产品参数

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