FPD面板
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垫片式过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可适用于气体分配系统中标准的 1/4 ″ ，3/8 ″和 1/2 ″
VCR 垫圈。垫片式过滤器可用于保护敏感气体组件，例如质量流量控制器或阀门，在高达 400℃的
应用中免受颗粒损坏，延长其使用寿命，避免密封阀损坏造成泄露。垫片式过滤器是防止污染的经
济保障，可以避免对关键部件产生不利影响。
产品特点
先进的 S316L 不锈钢材质
适用于低压的系统管路
可以作为表面密封的过滤器，
所以不需要额外的工作（切割/ 焊接管道用于过滤器安装）
适用于高温环境应用
技术参数
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滤材：S316L金属毡
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垫片：低硫316L
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表面处理：外表面：Ra≤0.4μm；密封面：抛光+电解，Ra≤0.2μm
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颗粒拦截粒径：≥0.3μm/≥1.0μm
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颗粒拦截效率：＞99%
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最大使用压力：0.98Mpa
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最高使用温度：400℃
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流量范围：0~100slpm
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下游洁净度：颗粒释放：＜1 particle/ft³@＞0.1μm；Volatiles：＜10 ppb moisture
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产品参数
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