FPD面板
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FPLE 系列光化学过滤器为一字型排布接口，搭配管路接头均可实现快速拆装，适用于去离子水、显影液、
光抗蚀剂等光化学试剂，应用范围广泛。
产品特点
化学兼容性： 显影液、光抗蚀剂等光化学试剂
低析出： 金属离子、有机物、非挥发性
残留物物质低析出管控。
超净工艺： 加强清洗技术减少颗粒脱落
和微气泡形成。
灵活适配： 多种膜材料（UPE、Nylon、
PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可选
技术参数
- 滤材：超高分子量聚乙烯、尼龙、疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）
- 骨架与端盖：高密度聚乙烯（HDPE）
- 支撑与分水层：高密度聚乙烯（HDPE）
- 密封圈：全氟醚（FFKM）
- 最高使用温度：40℃
- 最大操作压力：3.4bar@25℃
- 最大正向压差：2.7bar@25℃
- 有效过滤面积：3000 cm² 至 3200 cm²
产品参数
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