折叠膜气体过滤

EG 超纯气体滤芯

  • 超大过滤面积、超高过滤精度

    高通量、低阻力、高纳污量
    EG 系列滤芯,采用疏水 PTFE 滤膜,过滤精度可达 0.003μm,适用于微电子半导体工业大宗气体过滤应用。

     

     

    产品特色
    - 超高过滤精度
    - 疏水聚四氟乙烯(PTFE) 折叠膜
    - 压差低,流量高,寿命长
    - 适用多种端盖配置
    - 100% 完整性测试
    - 无尘环境制造

     


    典型应用
    - 厂缩空气过滤 / 制程空气过滤 / 特气供应系统 

EG 超纯气体滤芯
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  • EG 超纯气体滤芯

产品参数

  • 最高操作温度:
    93 °C (200 °F)
    最大压差:
    1.37 bar @ 93 °C (19.9 psid @ 200 °F)
    5.49 bar @ 21 °C (79.7 psid @ 70 °F)
    建议更换压差:2.1 bar @ 21 °C (30.5 psid @ 70 °F)

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