纯化器系列
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气体纯化器，深度脱除杂质FTKLN 系列是针对 POU 终端客户需求研制的气体纯化器，A 系列主要为提高高纯度惰性气体在微电子行的纯度一致性和最终纯度，利用科学的材料配比将惰性气体中水，氧，一氧化碳，二氧化碳等杂质深度脱除，保证最终使用点位的气体纯净。
产品特色
- 过程控制 : 纯度控制 ppb 级以下，通过 ISO9001:2015 设备制造的净化器，和 CE 压力设备指令（PED）认证
- 操作安装便利 : 不需要加热器或其他功耗，室温下即可工作，建议垂直安装使用，气流方向为从上往下
- 成本节约 : 壳体寿命 20 年，入口气体水、氧含量为 1ppm 的情况下可以使用一年，吸附饱和后可返厂再生典型应用
半导体行业/钢瓶气纯化/色谱载气纯化/其他研发领域性能参数
纯化气体
N₂, He, Ne, Ar, Kr, Xe
H₂
出口纯度：H₂O <1ppb
杂质组成：H₂O <1ppb、O₂ <1ppb、CO <1ppb、CO₂ <1ppb、H₂ <1ppb、NMHC <1ppbO₂
出口纯度：H₂O <1ppb
杂质组成：H₂O <1ppb、O₂ <1ppb、CO <1ppb、CO₂ <1ppb、H₂ <1ppb、NMHC <1ppb其他参数
- 内部表面粗糙度：Ra<0.25μm/10μm
- 使用温度：0-65℃
- 使用压力：≤20bar
- 压差：≤0.1bar
- 漏率：1×10⁻⁸atm·cc/sec
- 出口颗粒过滤：Gasfil—低硫316L粉末烧结1.5μm滤片
产品参数
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最大操作温度:
170°C / 338°F
最大正向压差：
0.44 MPa(4.4 bar,64 psi) @25°C(77°F)
0.05 MPa(0.5 bar,7.5 psi) @180°C(356°F)
最大反向压差：
0.34 MPa(3.4bar,50 psi) @25°C(77°F)
关联应用
相关元件
相关设备
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