一体式过滤器
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结构紧凑、快速拆装，存液低减少浪费
滤材多样性，化学兼容性广泛
NANO 囊式过滤器是一种易于使用且经济高效的胶囊过滤器，设计用于相对较低的流速和小流量处理。可灵活选择过滤介质和端口连接方式，广泛应用于微电子工业。多种滤膜方案，多种壳体材质方案，适用于不同的工艺条件。
产品特色
- 紧凑型设计，安装空间要求低
- 滤芯更换便捷
- 存液量低，物料浪费少
- 无金属组件
- 化学相容性广泛
- 在洁净室内清洗和包装
典型应用
- 纯水过滤
- 稀酸、稀碱、溶剂过滤
- 气体过滤
- 光刻胶过滤技术参数
- 滤材：316L不锈钢粉末烧结
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：车加工原面，Ra≤1.6μm；内表面：抛光+电解，Ra≤0.13μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@120slpm（参考MPPS，所有颗粒）
- 最大进口压力：0.98Mpa@25℃
- 最大正向压差：0.69Mpa@25℃
- 最高使用温度：460℃
- 流量范围：0~120slpm
- 下游洁净度：颗粒释放：<1 particle/ft³ @>0.01μm；Volatile：<10 ppb moisture
- 氦气泄露率：验证漏率：1×10⁻¹¹ atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹ atm.cc/sec
过滤介质参数表
过滤介质 其他组件 过滤等级 最大操作温度 最大操作压力 主要应用 PT 聚丙烯 0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.45μm、1.0μm、5μm、10μm、25μm 90℃ 5bar@25℃ 排气/工艺气体/有机溶剂 PP 聚丙烯 0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.45μm、1.0μm、5μm、10μm 90℃ 5bar@25℃ 酸、碱、去离子水、溶剂 PF 聚丙烯 0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm、0.45μm、1.0μm、5μm、10μm 90℃ 5.5bar@25℃ 去离子水/酸、碱 HT HDPE 0.2μm、0.45μm、1.0μm、5.0μm、10μm 90℃ 5.5bar@25℃ 光刻胶/去离子水/酸、碱
产品参数
关联应用
相关元件
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