折叠膜气体过滤
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耐高压、强度高、良好的化学兼容性电子级超纯气体高效过滤，大流量在线气体过滤
GIST®Mega 在线式超纯气体过滤器，专为大流量电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达1.5nm。设备结构紧凑，强度高，与多数类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于大宗气体及惰性气体。产品特色
- 316L不锈钢电子级抛光外壳
- 高通量低压损
- 优异的化学相容性
- 耐高温、高压
- 洁净室制造和包装
- 100%完整性测试
- 100%氦气泄露测试
典型应用
- 大宗气体与惰性气体技术参数
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- 骨架：聚丙烯（PP）
- O型圈：三元乙丙橡胶（EPDM）
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：车加工原面，Ra＜1.6μm；内表面：抛光+电解，Ra＜0.6μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@300 slpm（参考MPPS，所有颗粒）
- 氦气泄露率：验证漏率：2 × 10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1 × 10⁻⁴ atm.cc/sec
- 最大正向压差：4.1 bar@23°C
- 最大反向压差：0.7 bar@23°C
- 最高使用温度：60°C
- 流量范围：N款：0~1500slpm；L款：0~3000slpm
产品参数
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最大进口压力：12bar（174 psig）@23℃（73℉）
最大正向压差：4.1bar（59 psid）@23℃（73℉）
最大反向压差：0.07MPa（0.7 bar, 10 psid）@23℃（73℉）
最高操作温度：60℃（140℉）
气体流速（工作流速范围）：
N款：0-1500slpm
L款：0-3000slpm
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