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折叠膜气体过滤

GIST®Mega超纯气体过滤器

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  • 耐高压、强度高、良好的化学兼容性

    电子级超纯气体高效过滤，大流量在线气体过滤
    GIST®Mega 在线式超纯气体过滤器，专为大流量电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达1.5nm。设备结构紧凑，强度高，与多数类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于大宗气体及惰性气体。

     

     

    产品特色
    - 316L不锈钢电子级抛光外壳
    - 高通量低压损
    - 优异的化学相容性
    - 耐高温、高压
    - 洁净室制造和包装
    - 100%完整性测试
    - 100%氦气泄露测试

     


    典型应用
    - 大宗气体与惰性气体

GIST®Mega超纯气体过滤器
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  • GIST®Mega超纯气体过滤器

产品参数

  • 最大进口压力：12bar（174 psig）@23℃（73℉）

    最大正向压差：4.1bar（59 psid）@23℃（73℉）

    最大反向压差：0.07MPa（0.7 bar, 10 psid）@23℃（73℉）

    最高操作温度：60℃（140℉）

    气体流速（工作流速范围）：

    N款：0-1500slpm

    L款：0-3000slpm

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