折叠膜气体过滤
GIST®Mega超纯气体过滤器
-
耐高压、强度高、良好的化学兼容性电子级超纯气体高效过滤，大流量在线气体过滤
GIST®Mega 在线式超纯气体过滤器，专为大流量电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达1.5nm。设备结构紧凑，强度高，与多数类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于大宗气体及惰性气体。产品特色
- 316L不锈钢电子级抛光外壳
- 高通量低压损
- 优异的化学相容性
- 耐高温、高压
- 洁净室制造和包装
- 100%完整性测试
- 100%氦气泄露测试
典型应用
- 大宗气体与惰性气体
产品参数
-
最大进口压力：12bar（174 psig）@23℃（73℉）
最大正向压差：4.1bar（59 psid）@23℃（73℉）
最大反向压差：0.07MPa（0.7 bar, 10 psid）@23℃（73℉）
最高操作温度：60℃（140℉）
气体流速（工作流速范围）：
N款：0-1500slpm
L款：0-3000slpm
相关元件
相关设备
留言咨询