金属滤材气体过滤
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适合集成气体输送系统顶部安装过滤器非常适合集成气体输送系统，易于检修和更换。
产品特色
- 小型化设计，结构紧凑，不占空间
- 高温高压能力
- 优异的气体置换和解吸特性
- 先进的 S316L 不锈钢介质
- 100% 氦气泄露测试
- 电解抛光 S316L 不锈钢外壳
技术参数
- 滤材：316L不锈钢粉末烧结
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：车加工原面，Ra≤1.6μm；内表面：抛光+电解，Ra≤0.13μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@120slpm（参考MPPS，所有颗粒）
- 最大进口压力：0.98Mpa@25℃
- 最大正向压差：0.69Mpa@25℃
- 最高使用温度：460℃
- 流量范围：0~120slpm
- 下游洁净度：颗粒释放：<1 particle/ft³ @>0.01μm；Volatile：<10 ppb moisture
- 氦气泄露率：验证漏率：1×10⁻¹¹ atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹ atm.cc/sec
产品参数
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最大操作温度:
170°C / 338°F
最大正向压差：
0.44 MPa(4.4 bar,64 psi) @25°C(77°F)
0.05 MPa(0.5 bar,7.5 psi) @180°C(356°F)
最大反向压差：
0.34 MPa(3.4bar,50 psi) @25°C(77°F)
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