高温气体扩散器 GasPlate

适用于清洁、快速且减少湍流的回填过程

Gasplate扩散器可以轻松安装到真空系统中。它非常适用于清洁、快速且减少湍流的回填过程。使用这些扩散器的结果是增加产品产量和设备吞吐量。在正确安装并在指定的操作条件下使用时，它们还能保持产品完整性长达3,000,000次循环。Gasplate扩散器广泛应用于半导体设备接口（CVD、PVD、Etch、Epi）或其他真空室的装载锁腔体、传输腔体、冷却腔体和工艺腔体等通风应用中。它们用于需要在短时间内传递大量气体流的场合。

产品特色
- 先进的 S316L 不锈钢材质
- 适用于高压的系统管路
- 可以作为表面密封的过滤器，所以不需要额外的工作（切割/焊接管道用于过滤器安装）
- 适用于高温环境应用

技术参数
- 滤材材质‌：316L不锈钢粉末烧结
- ‌滤壳材质‌：低硫316L
- ‌O-ring‌：氟橡胶（可选）
- ‌最高操作温度‌：100℃ with O-ring；460℃ with no O-ring
- ‌下游洁净度‌：<1 particle/ft³ @>0.1μm rated flow
- ‌最大进气压力‌：6.89 bar
- ‌最大工作压差‌：3 bar
- ‌工作寿命‌：≥100,000 cycles
- ‌设计流速‌：视产品规格

产品参数

最大操作温度:

170°C / 338°F

最大正向压差：

0.44 MPa(4.4 bar,64 psi) @25°C(77°F)

0.05 MPa(0.5 bar,7.5 psi) @180°C(356°F)

最大反向压差：

0.34 MPa(3.4bar,50 psi) @25°C(77°F)

关联应用