FPD面板
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FG30 在线式超纯气体过滤器，专为大流量电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm。
设备结构紧凑，强度高，与多数类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于大宗气体及惰
性气体。
产品特点
316L 不锈钢电子级抛光外壳
高通量低压损
优异的化学相容性
耐高温、高压
100％完整性测试
100％氦气泄漏测试
洁净室制造和包装
技术参数
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滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
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骨架：聚丙烯（PP）
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O-型圈：三元乙丙橡胶（EPDM）
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壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L(VAR/VIM+VAR)
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表面处理：外表面：车加工原面，Ra＜1.6μm；内表面：抛光+电解，Ra＜0.6μm
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颗粒拦截粒径：≥1.5nm
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颗粒拦截效率：≥99.9999999%(9 LRV)@300 slpm（参考MPPS，所有颗粒）
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氦气泄露率：验证漏率：2×10⁻¹⁰atm·cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹atm·cc/sec
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最大正向压差：4.1 bar@23℃
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最大反向压差：0.7bar@23℃
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最高使用温度：60℃
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流量范围：N款:0~1500slpm；L款:0~3000slpm
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产品参数
关联应用
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