FPD面板
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FG30 在线式超纯气体过滤器，专为大流量电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm。
设备结构紧凑，强度高，与多数类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于大宗气体及惰
性气体。
产品特点
316L 不锈钢电子级抛光外壳
高通量低压损
优异的化学相容性
耐高温、高压
100％完整性测试
100％氦气泄漏测试
洁净室制造和包装
技术参数
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- 骨架：聚丙烯（PP）
- O - 型圈：三元乙丙橡胶（EPDM）
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：车加工原面，Ra＜1.6μm；内表面：抛光+电解，Ra＜0.6μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@300 slpm（参考MPPS，所有颗粒）
- 氦气泄露率：验证漏率：2 × 10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1 × 10⁻⁹ atm.cc/sec
- 最大正向压差：4.1 bar@23℃
- 最大反向压差：0.7bar@23℃
- 最高使用温度：60℃
- 流量范围：N款：0~1500slpm；L款：0~3000slpm
产品参数
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