金属滤材气体过滤
Gasfil高温超纯气体过滤器
-
耐高温、动态高压、超高颗粒拦截效率优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
Gasfil系列超纯气体过滤器，采用整体316L不锈钢结构，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，过滤精度可达0.003um。产品特色
- 整体316L不锈钢结构
- 超高颗粒拦截效率，高通量、低阻力
- 适合高温应用
- 结构紧凑
- 适用于多种工艺气体
- 洁净室环境内制造、测试、包装
- 100%完整性测试通过
- 100%氦气泄露检测通过
典型应用
- 高温、动态高压应用过滤选择
产品参数
-
最大进气压力: 52 bar@23℃
最大工作压差:
5.2bar（75psid）
最高操作温度:
惰性气体：400℃
腐蚀性气体、反应气体：50℃
推荐工作流量:
Φ20系列：0-15slpm
Φ33系列：0-50slpm
Φ75系列：0-100slpm
相关元件
相关设备
留言咨询
联系方式
公众号二维码
视频号二维码