金属滤材气体过滤
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耐高温、动态高压、超高颗粒拦截效率优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
Gasfil系列超纯气体过滤器，采用整体316L不锈钢结构，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，过滤精度可达1.5nm。产品特色
- 整体316L不锈钢结构
- 超高颗粒拦截效率，高通量、低阻力
- 适合高温应用
- 结构紧凑
- 适用于多种工艺气体
- 洁净室环境内制造、测试、包装
- 100%完整性测试通过
- 100%氦气泄露检测通过
典型应用
- 高温、动态高压应用过滤选择技术参数
- 滤材：316L不锈钢粉末烧结
- 壳体：低硫316L
- 表面处理：外表面：Ra＜1.6μm；内表面：电解抛光，Ra＜0.2μm
- 过滤效率：颗粒拦截粒径：≥1.5nm；颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@30 slpm
- 最大进气压力：207 bar
- 最大工作压差：5.2 bar
- 最高使用温度：惰性气体：400°C；腐蚀性气体、反应气体：50°C
- 下游洁净度：≤0.03 particles/liter @＞0.01 μm，30slpm
- 氦气泄露率：验证漏率：2 × 10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1 × 10⁻³ atm.cc/sec
- 流量范围：φ20系列：0~15slpm；φ33系列：0~50slpm；φ75系列：0~100slpm
产品参数
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最大进气压力: 52 bar@23℃
最大工作压差:
5.2bar（75psid）
最高操作温度:
惰性气体：400℃
腐蚀性气体、反应气体：50℃
推荐工作流量:
Φ20系列：0-15slpm
Φ33系列：0-50slpm
Φ75系列：0-100slpm
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