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金属滤材气体过滤

Gasfil高温超纯气体过滤器

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  • 耐高温、动态高压、超高颗粒拦截效率

    优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
    Gasfil系列超纯气体过滤器，采用整体316L不锈钢结构，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，过滤精度可达1.5nm。

     

     

    产品特色
    - 整体316L不锈钢结构
    - 超高颗粒拦截效率，高通量、低阻力
    - 适合高温应用
    - 结构紧凑
    - 适用于多种工艺气体
    - 洁净室环境内制造、测试、包装
    - 100%完整性测试通过
    - 100%氦气泄露检测通过

     


    典型应用
    - 高温、动态高压应用过滤选择

Gasfil高温超纯气体过滤器
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  • Gasfil高温超纯气体过滤器

产品参数

  • 最大进气压力:  52 bar@23℃
    最大工作压差:
    5.2bar（75psid）
    最高操作温度:
    惰性气体：400℃
    腐蚀性气体、反应气体：50℃
    推荐工作流量:
    Φ20系列：0-15slpm
    Φ33系列：0-50slpm
    Φ75系列：0-100slpm

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