光化学过滤器 Polyflora E/F

应用范围广

可实现快速拆装
Polyflora E 系列光化学过滤器为一字型排布接口，F 系列为三角形排布接口，搭配管路接头均可实现快速拆装，适用于去离子水、显影液、光抗蚀剂等光化学试剂，应用范围广泛。

产品特色
- 化学兼容性：显影液、光抗蚀剂等光化学试剂
- 低析出：金属离子、有机物、非挥发性残留物物质低析出管控
- 超净工艺：加强清洗技术减少颗粒脱落和微气泡形成
- 灵活适配：多种膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可选。

典型应用
- EUV、ArF、KrF 光刻胶
- 显影液
- 溶剂类

技术参数
- 滤材：超高分子量聚乙烯、尼龙、疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）
- 骨架与端盖：高密度聚乙烯（HDPE）
- 支撑与分水层：高密度聚乙烯（HDPE）
- 密封圈：全氟醚（FFKM）
- 最高使用温度：40℃
- 最大操作压力：3.4bar@25℃
- 最大正向压差：2.7bar@25℃
- 有效过滤面积：800 cm² 至 3200 cm²

产品参数

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