FPD面板
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FG22 超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm。设备结构紧凑，
强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。特别适用于用于惰性气体和反应性气体
的过滤。
产品特点
316L 不锈钢电子级抛光外壳
高通量低压损
优异的化学相容性
耐高温、高压
100％完整性测试
100％氦气泄漏测试
洁净室制造和包装
技术参数
- 壳体：低硫316L
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- O-型圈：全氟醚橡胶（FFKM）
- 骨架与端盖：可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚丙烯（PP）
- 过滤面积：PFA:＞230cm²、PP:＞400cm²
- 最大使用压力：52 bar@80℃（可选207Bar@25℃）
- 最大压差：正向:7bar@21℃、反向:3.4bar@21℃
- 最高使用温度：PP:80℃、PFA:180℃
- 流量范围：0~600slpm
- 下游洁净度：颗粒释放:＜1particle/ft³@＞0.01μm、挥发物:＜10 ppb moisture
产品参数
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