FPD面板
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FG22 超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm。设备结构紧凑，
强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。特别适用于用于惰性气体和反应性气体
的过滤。
产品特点
316L 不锈钢电子级抛光外壳
高通量低压损
优异的化学相容性
耐高温、高压
100％完整性测试
100％氦气泄漏测试
洁净室制造和包装
技术参数
- 壳体：低硫 316L
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- O - 型圈：全氟醚橡胶（FFKM）
- 骨架与端盖：可熔性聚四氟乙烯（PFA）；聚丙烯（PP）
- 过滤面积：PFA：＞230cm²；PP：＞400cm²
- 最大使用压力：52 bar@80℃（可选 207Bar@25℃）
- 最大压差：正向：7 bar@21℃；反向：3.4 bar@21℃
- 最高使用温度：PP：80℃；PFA：180℃
- 流量范围：0 - 300slpm
- 下游洁净度：颗粒释放：＜0.03 particles/liter（＜1 particle/ft³）@0.01μm；挥发物：＜10 ppb moisture
产品参数
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