折叠膜气体过滤
-
电子级超纯气体高效过滤、结构紧凑、强度高优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
GISTmini 超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm，设备结构紧凑，强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于惰性和反应性气体。产品特色
- 316L 不锈钢电子级抛光外壳
- 高通量低压损
- 优异的化学相容性
- 耐高温、高压
- 100％完整性测试
- 100％氦气泄漏测试
- 洁净室制造和包装
典型应用
- 晶圆制程PVD、CVD、刻蚀、离子注入等工艺气体过滤技术参数
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- 骨架与端盖：可熔性聚四氟乙烯（PFA）
- O型圈：全氟醚橡胶（FFKM）
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：Ra<1.6μm；内表面：电解抛光，Ra<0.2μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.9999999%（9 LRV）@30 slpm
- 最大进口压力：207bar@23℃
- 最大正向压差：4bar@23℃
- 最大反向压差：0.7bar@23℃
- 最高使用温度：180℃
- 流量范围：1.0：0~120slpm；1.5：0~300slpm
- 下游洁净度：颗粒释放：<1 particle/ft³ @>0.01μm；挥发物：<10 ppb moisture
- 氦气泄露率：验证漏率：2×10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹ atm.cc/sec
产品参数
-
最大进口压力: 207 Bar@23℃
最大压差:
正向: 4 bar (60 psid) @ 23°C (73℉)
反向: 0.07 MPa (0.7 bar, 10 psid) @ 23°C (73℉)
最高操作温度: 120℃ (248℉)
气体流速:
推荐工作流速：0-60slpm
相关元件
相关设备
留言咨询