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折叠膜气体过滤

GISTmini 超纯气体过滤器

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  • 电子级超纯气体高效过滤、结构紧凑、强度高

    优异的化学兼容性、适用多种工艺气体
    GISTmini 超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 3nm，设备结构紧凑，强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于惰性和反应性气体。

     

     

    产品特色
    - 316L 不锈钢电子级抛光外壳
    - 高通量低压损
    - 优异的化学相容性
    - 耐高温、高压
    - 100％完整性测试
    - 100％氦气泄漏测试
    - 洁净室制造和包装

     


    典型应用
    - 晶圆制程PVD、CVD、刻蚀、离子注入等工艺气体过滤

GISTmini 超纯气体过滤器
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  • GISTmini 超纯气体过滤器

产品参数

  • 最大进口压力: 207 Bar@23℃
    最大压差:
    正向: 4 bar (60 psid) @ 23°C (73℉)
    反向: 0.07 MPa (0.7 bar, 10 psid) @ 23°C (73℉)
    最高操作温度: 120℃ (248℉)
    气体流速: 
    推荐工作流速：0-60slpm

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