金属滤材气体过滤
-
优异的化学兼容性、适用多种工艺气体结合过滤器的颗粒拦截，减少工艺腔体排气时的湍流
Gasfaver系列扩散器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。Gasfaver扩散器结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，过滤精度达1.5nm。独特的滤材结构设计，在保证过滤效率的同时，也避免引起湍流，对工艺室环境造成影响，防止吹起颗粒或甚至吹起硅片。产品特色
- 减少工艺腔体排气时的湍流
- 适用于多种工艺气体
- 洁净室环境内制造、测试、包装
- 100% 完整性测试通过
- 100% 氦气泄露检测通过
典型应用
- 半导体制程中真空腔体快速放气技术参数
- 滤材：316L不锈钢粉末烧结
- 壳体：低硫316L
- O型圈：氟橡胶（可选）
- 表面处理：内表面：Ra≤32 μin
- 过滤精度：≥1.5nm
- 最大进气压力：4 bar
- 最大工作压差：5 bar
- 最高使用温度：100°C with O-ring；400°C with no O-ring
- 下游洁净度：≤0.03 particles/liter > 0.01 μm rated flow
产品参数
-
最大进气压力：
4 bar（60 psig）
最大工作压差：
5 bar（75 psid）;
最高使用温度：
100℃ with O-ring
400℃ with no O-ring
下游洁净度：
≤0.03
particles/liter＞0.01μm rated flow
相关元件
相关设备
留言咨询