FPD面板
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FG10/15 超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达 1.5nm。设备结构紧凑，
强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性。推荐用于惰性和反应性气体。
产品特点
316L 不锈钢电子级抛光外壳
高通量低压损
优异的化学相容性
耐高温、高压
100％完整性测试
100％氦气泄漏测试
洁净室制造和包装
典型应用
晶圆制程 PVD、
CVD、刻蚀、
离子注入等工艺气体过滤
技术参数
- 滤材：聚四氟乙烯（PTFE）
- 骨架与端盖：可熔性聚四氟乙烯（PFA）
- O型圈：全氟醚橡胶（FFKM）
- 壳体：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- 表面处理：外表面：Ra<1.6μm；内表面：电解抛光，Ra<0.2μm
- 颗粒拦截粒径：≥1.5nm
- 颗粒拦截效率：≥99.9999999%（9 LRV）@30 slpm
- 氮气泄露率：验证漏率：2×10⁻¹⁰atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹atm.cc/sec
- 最大进口压力：207bar@23℃
- 最大正向压差：4bar@23℃
- 最大反向压差：0.7bar@23℃
- 最高使用温度：120℃
- 流量范围：0~60slpm
- 下游洁净度：颗粒释放：<0.03 particles/liter（<1 particle/ft³）@>0.01μm；挥发物：<10 ppb moisture
产品参数
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