高温超纯气体过滤器 Gasfil Sintub

高温、动态高压应用过滤

Gasfil sintub 系列超纯气体过滤器，采用整体316L 不锈钢结构，过滤精度可达 1.5nm。专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，具备10~250L/min 流量的各种型号整体金属结构，是理想的高温、动态高压应用过滤选择。

产品特色
- 整体316L 不锈钢结构
- 超高颗粒拦截效率，高通量、低阻力
- 适合高温应用
- 结构紧凑
- 适用于多种工艺气体
- 洁净室环境内制造、测试、包装
- 100% 完整性测试通过
- 100% 氦气泄露检测通过

技术参数
- ‌滤材‌：惰性氧化铝
- ‌壳体‌：方案一：低硫316L；方案二：超纯316L（VAR/VIM+VAR）
- ‌表面处理‌：外表面：Ra<1.6μm；内表面：电解抛光，Ra<0.2μm
- ‌过滤效率‌：颗粒拦截粒径：≥1.5nm；颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@30 slpm
- ‌最高使用温度‌：惰性气体：460℃；腐蚀性气体、反应气体：50℃
- ‌下游洁净度‌：<1 particle/ft³ @>0.01 μm，30slpm
- ‌氦气泄漏率‌：验证漏率：2×10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹ atm.cc/sec
- ‌最大进气压力‌：207 bar
- ‌最大工作压差‌：5.2 bar

产品参数

最大操作温度:

170°C / 338°F

最大正向压差：

0.44 MPa(4.4 bar,64 psi) @25°C(77°F)

0.05 MPa(0.5 bar,7.5 psi) @180°C(356°F)

最大反向压差：

0.34 MPa(3.4bar,50 psi) @25°C(77°F)

关联应用