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半导体制造中的气体使用情况
2024-12-18
气体分类及核心气体应用
半导体制造约有 450 道工艺，使用 50 多种气体，分为大宗气体和特种气体。核心气体如氮气用作惰性气体或清洗，氩气用于蚀刻和沉积反应等离子体，氦气用于特殊热量转移，氢气在多个工艺中起重要作用。
不同气体的纯度要求及应用场景
列举了氨气、氧化亚氮、硅烷、硫化氢等气体的纯度要求及在半导体器件制备工艺、其他工业领域的应用场景。
二、气体纯度的重要性
纯度是电子特种气体关键指标，影响晶圆和电子元器件质量、性能、集成度、技术指标和成品率等。杂质含量高会导致成品缺陷、影响性能和成品率，严重时污染生产线造成高额损失。随着半导体制程发展，对特种气体洁净度要求愈发严格。
三、飞潮的产品及解决方案
针对不同气体的产品推荐
大宗气体：如 CDA、氮气、氧气、氩气、氢气、氦气等，根据其在 FAB(制造车间)和厂务中的不同应用场景，推荐了 GIST、GIST Mega、EG、MIGHTY - C、Gasfil sintub、Gasfaver 等不同产品。
特种气体：氢化物、氟化物、酸性气体等特种气体在不同工艺中有不同应用，飞潮提供了 GIST、GIST mini、Gasfil、Gasfil sintub、GasTM 等多款产品用于相应过滤。
产品优势
飞超纯气体过滤产品经过完备测试、检测与处理环节，具备完整性测试(无颗粒非预期穿透、无有毒有害气体溢出、初始洁净度好、安装便捷)、氦气泄露检测、特殊清洗处理，有多种接口可选、SEMI F20 超纯材料可选，能提供持续稳定的气体过滤服务，具有更好的耐腐蚀能力。
四、在湿电子化学品过滤方面的应用
湿电子化学品质量影响电子产品成品率等，半导体核心工艺对其金属元素纯度要求达 10PPT 级以上，飞潮依靠先进过滤分离纯化技术，开发了折叠膜液体过滤系列(如 EL 滤芯、PEASIC 滤芯等)、一体式过滤器(如 NANO 囊氏过滤器)等适用于各工艺段的湿电子过滤产品。
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