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半导体制造，怎能少了“气体保镖”？

2025-08-09

2025年已过半，全球半导体市场市场呈现稳健增长，生成式 AI 是核心驱动力，推动算力芯片与边缘设备市场扩张，2nm 节点制程量产启动，1nm 正加速研发，量子与可重构架构创新推动未来芯片设计升级。在半导体制造的世界里，每一丝杂质都是良率的“天敌”。尤其是超纯气体——作为芯片工艺的“血液”，它的洁净程度，决定着芯片的命运。半导体制造对大宗气体的纯度要求达到3N，而对电子特气的纯度要求则达到了5N-6N（N 指纯度百分比中9的个数，例如6N 表示99.9999%），同时还要求将金属元素净化到10⁻⁹级至10⁻¹²级。

气体等级	纯度要求	杂质含量	应用领域
大宗气体	3N	≤1000×10⁻⁷	一般器件
纯气体	4N	≤100×10⁻⁷	晶体管等
高纯气体	5N	≤10×10⁻⁷	大规模集成电路
电子气体	6N	≤1×10⁻⁷	超大规模集成电路

飞潮Feature-Tec半导体超纯气体过滤系统上线

面对半导体制造对大宗气体的纯度的严苛要求，就需要一位“气体保镖”出场！飞潮（Feature-Tec）推出的半导体超纯气体过滤解决方案，优质的产品加上先进的技术，就是你值得信赖的超纯守护者。

产品分类	飞潮产品	优势特点
超纯气体滤芯	Mighty-G 全氟超纯气体滤芯	采用PTFE/PFA 材料，极高的化学稳定性，适用于高腐蚀性气体环境（如全氟类、氨气等）。
	Mighty-G 全氟超纯气体滤芯	滤芯结构经过优化设计，具备低脱出、低金属杂质析出性能，符合超高洁净要求。
	EG 超纯气体滤芯	高性价比，适配多种主流气体系统，适用于半导体制造、LED、光电行业等超净应用场景。
GIST 系列过滤器	GIST mini 超纯气体过滤器	整体结构采用高洁净加工处理，焊接无污染、无颗粒残留
	GIST mini 超纯气体过滤器	提供多种尺寸规格（Mini、标准、Mega）适配不同气体流量需求
	GIST 超纯气体过滤器	可配置全氟滤芯，专为超纯气体应用环境打造，适用于10级洁净室系统
	GIST®Mega 超纯气体过滤器	通过焊接或面密封连接，确保系统密封性和洁净度
高温超纯气体过滤/扩散器	GasKS 垫片式高纯气体过滤器	采用烧结金属滤芯，支持高温 (>400°C) 工况下稳定运行具备优良的颗粒拦截能力。
	GasPlate 高温气体扩散器	适用于高温工艺气体过滤及系统预保护多种安装形式（垫片式、卡套式、管焊式）
	Gasfil高温超纯气体过滤器	满足不同设备结构要求，产品经过超声波清洗、脉冲气体吹扫与Class10洁净包装处理，
	Gasfil Sintub高温超纯气体过滤器	适配半导体制造中的高温工艺环节（如 CVD、ALD 等）
	GasKT 垫片式高纯气体过滤器
	Gasfaver 高温超纯气体扩散器
	GasTM 高温超纯气体过滤器
特殊应用过滤器	FTKIN A 惰性气体纯化器	为惰性气体中的杂质进行深度脱除，确保最终使用点位的气体纯度适合部署在高温、高纯或流体精密控制终端等对工艺流量要求极高的系统中
特殊应用过滤器	Flores 高纯度多孔金属限流器

日程表AI 生成的内容可能不正确。

在半导体制造过滤领域，飞潮Feature-Tec以优质的产品加上过硬的技术实力，同时结合客户的不同实际工况、应用场景等个性化需求，灵活提供最佳适配的解决方案，助力客户真正实现降本增效，实现与国际标准对标的净化需求。我们服务客户的应用场景还覆盖：厂务系统过滤、晶圆清洗过滤、半导体制造废水、平板显示制程工艺、湿电子化学品过滤等。

✅ 技术向上，洁净不妥协：

高精度过滤材料：采用国际领先的 PTFE、PES、316L不锈钢材料制造，具备超高洁净度与化学兼容性。
纳米级过滤精度：有效滤除颗粒、油雾、金属离子等微污染物，满足10级洁净室及以下工艺需求。
低脱出保障：材料脱落物超低，极大降低工艺污染风险，保护下游设备与产品稳定性。

✅ 应用广泛，实力全覆盖：

适用于集成电路制造、晶圆清洗、封装测试、光刻、蚀刻、CVD等关键工艺
全系列支持N₂、H₂、Ar、He、O₂、NH3、特殊混合气体等工艺气体过滤

✅ 用户至上，定制有道：

提供多种接口、尺寸、流量等级灵活定制
适配国际主流半导体设备，快速集成，降低更换与维护成本

关于飞潮（Feature-Tec）

飞潮新材（Feature-Tec）专注过滤、分离、纯化领域20+年，集研发、设计、制造、检测验证于一体。截止到2025年，拥有上海、无锡2个生产基地，分别在上海、北京、大连、西安、合肥、新加坡设立了6个办事处。飞潮（Feature-Tec）检测验证中心已通过中国合格评定国家认可委员会（CNAS）审核，具备CNAS/ISO17025、GMP-Like体系在内的合规质量体系。

我们的过滤分离解决方案覆盖半导体电子工业、汽车制造、食品饮料、生物制药、化工生产、水处理、石油开采、机械加工、绿色能源、海洋装备等领域。飞潮（Feature-Tec）的过滤元件均采用先进的材料制成，包括不同型号及材质的滤芯、滤袋、滤布等过滤耗材；过滤分离设备包括：全自动过滤系统、磁性分离系统、袋式过滤器、芯式过滤器、机加工液过滤、单芯过滤器、油气分离设备等。特色过滤工艺覆盖：催化剂过滤回收、雷尼镍电磁过滤、纳米浆料浓缩洗涤、胺液脱硫过滤、活性炭脱色过滤、硅钢酸洗应用、粉尘综合治理、废硫酸浓缩等创新过滤工艺技术。

飞潮（Feature-Tec）以深厚的研发力与行业经验，为半导体客户打造一套“安全可靠、洁净高效”的超纯气体过滤系统。我们不仅仅是过滤纯化气体，而是让您生产线上的每一口气，都纯得值千金。欢迎联系飞潮Feature-Tec，获取您的专属服务解决方案。

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