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2nm液体过滤精度、SEMI标准、进口替代——半导体过滤的「中国答案」

2026-07-30

 

在半导体制造中,一个纳米级的颗粒不达标就可能导致晶圆报废。目前电子化学品的过滤精度需求达到2nm-100nm级别,对滤材兼容性要求极高——IPA、PGMEA、SC1、SPM等多种化学品各有特性,通用滤芯根本无法应对。

 

一位浙江客户反馈:规划湿电子化学品项目,涉及电子级双氧水、硫酸和液氨,对过滤方案的资质要求非常严格。现有市场格局中,海外进口品牌占据主导,但交期长(6-12个月)、成本高(2-5倍)、服务响应慢,让半导体企业苦不堪言,国产替代需求强烈,但真正能对标进口品质的供应商凤毛麟角。

 

 

半导体工厂的「隐形门槛」:过滤精度与SEMI标准

飞潮新材(Feature-Tec)全氟筒式滤芯MIGHTY系列,最高精度2nm,膜材从常规疏水PTFE到半亲水改性PTFE全面覆盖,真正实现一个系列滤芯通用,产品性能测试严格遵循SEMI C79、C82、C89等相关标准,产品品质可验证。此外,含硅废水回用需求突出,环保合规压力持续加大,飞潮新材(Feature-Tec)硅废水回用系统采用先进膜分离技术,帮助半导体企业实现研磨含硅废水的高效处理和回用,满足环保合规要求,降低水资源消耗。

 

 

 

从POU到厂务级:飞潮新材(Feature-Tec)半导体全场景方案

飞潮新材(Feature-Tec)为半导体行业提供从使用点(POU)到厂务级的全场景过滤解决方案:高纯气体过滤器Gasfil系列,可选316L和Nickel材质,兼惰性气体、腐蚀性气体等多种特种气体,过滤精度可达1.5nm级别,满足电子特气过滤的极致要求。壳体材质符合SEMI F19、F20要求,产品性能测试严格遵循SEMI F38、F43、F174等相关标准,产品资质门槛有保障。

 

对于厂务级过滤方案,飞潮新材(Feature-Tec)提供从化学品供应系统到回收系统的完整布局,POU过滤器覆盖每个使用点,确保全流程无死角。扩散器和限流器产品可与过滤器联合部署,满足半导体工艺的精细化需求。

 

 

 

国产替代的底气:技术、认证与服务

飞潮新材(Feature-Tec)深耕半导体过滤领域,已与国内多家头部半导体企业建立合作。Gasfil系列和MIGHTY系列产品在过滤精度、材料兼容性和产品一致性方面达到进口品牌同等水平,交期、成本大幅降低。CNAS/ISO 17025认可实验室提供完整的过滤性能检测和验证服务,从TOC、Particle到滤效检测全覆盖。本地化技术团队快速响应客户需求,从选型到现场调试全程支持。

 

 

关于飞潮新材(Feature-Tec)

飞潮新材(Feature-Tec)深耕过滤(Filtration)、分离(Separation)与纯化(Purification)领域 20 余年,拥有全球化业务布局,集研发设计、精益制造与检测验证于一体。依托 ASME VIII-1&2 认证能力及成熟的高端装备制造体系服务全球客户,覆盖电子半导体、FPD、生物制药、核电、锂电、汽车、食品饮料、油气化工、水处理、冶金、海水淡化、可再生能源等领域,可提供核心元件、过滤设备与成套系统。成功案例涵盖催化剂过滤回收、雷尼镍电磁过滤、纳米浆料浓缩洗涤、胺液脱硫过滤、活性炭脱色过滤、硅钢酸洗、回注水过滤、粉尘综合治理及废硫酸浓缩等创新过滤工艺。

 

飞潮(Feature-Tec)具备通过 CNAS/ISO17025、GMP-Like认证的专业检测能力。可提供清洗验证、污染物分析、可提取物与浸出物研究、细菌截留工艺验证、化学兼容性研究、安全性评估、吸附评估及过滤效率检测等检测验证服务。欢迎联系垂询,定制高效过滤解决方案,携手共创绿色未来。