过滤解决方案
集研发、设计、制造、验证于一体,通过持续创新,不断探索过滤分离纯化技术在工业流程领域的各种应用。
双氧水生产过滤(固定床/浆态床/流化床)
国内外制备双氧水基本采用蒽醌法,国外以流化床加氢工艺为主,国内则以固定床加氢工艺为主,近年来,国内新建装置采用流化床工艺技术逐渐增多。
在整个生产工艺中,氢化工序氢化液过滤、后处理工序循环工作液过滤尤为关键,会直接影响装置的稳定运行,前者关系到安全,后者直接影响催化剂的寿命。
蒽醌法双氧水生产技术主要包括氢化、氧化、萃取和后处理四个过程。在整个生产工艺中,氢化工序氢化液过滤、后处理工序循环工作液过滤尤为关键,会直接影响装置的稳定运行,前者关系到安全,后者直接影响催化剂的寿命。与固定床工艺相比,流化床双氧水生产工艺具有氢效更高、单套产能更高、生产过程更安全的特点,所以流化床工艺技术是国内双氧水行业的发展方向。
飞潮新材经过多年实践,在蒽醌法生产双氧水流程中,形成一套成熟的工艺过滤解决方案,已在国内外双氧水装置(固定床/浆态床/流化床)使用多年,得到众多用户的认可。

飞潮Feature-Tec双氧水工艺过滤方案
氢化液一级过滤:飞潮Selfclear速可清过滤系统
催化剂一级过滤:飞潮Selfclear速可清过滤系统,以流化床反应器为中心,成辐射状布置,采用多台编组运行,保证整个系统持续、稳定生产。


• 二级、三级(保安)过滤:飞潮Rocket系列&Jumbo系列、EL系列&CW系列产品

飞潮固定床工艺过滤方案
较流化床工艺,该工序过滤采用两级不同梯度/精度过滤,以保证氢化反应后钯催化剂粉末流向后段工序,防止造成双氧水分解带来的安全隐患。
在固定床氢化反应器中,催化剂固定不动,工作液与氢气从反应器顶部自上而下通过固定床内的催化剂,氢化液从床底流出,过滤器有效拦截下游少许破碎催化剂。
双氧水生产工艺流程中的过滤环节涉及到固液分离、气固/气液分离、液液分离等多种形式,目前常见的有普通袋式过滤器(老装置使用较多)、芯式过滤器,以及聚结分离等过滤和分离方式。
飞潮聚结分离技术及产品
• 氧化尾气除芳烃(二次分离罐):有效去除氧化尾气中夹带的芳烃,减轻活性炭或碳纤维吸附装置的压力,满足环保要求,同时回收芳烃,降低生产运营成本。
• 氢气除水:取决于氢气中是否含水,确定是否设置聚结器。
• 萃余液除水:有效的分离萃余液中的水分。
• 双氧水净化脱出TOC:有效分离双氧水中TOC,提高双氧水的品质。

飞潮电子级双氧水过滤 方案(固定床/浆态床/流化床)
工业级双氧水经过进一步纯化后,获得的成品——电子级双氧水可用于泛半导体领域的过滤,可以作为半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。

电子级双氧水属于湿电子化学品,技术壁垒较高,其纯净度若无法达标,一方面会导致泛半导体成品缺陷,严重影响产品性能和成品率,另一方面会污染制程设备,高等级湿电子化学品对纯度的要求甚至达到ppt级别。

飞潮运用过滤分离纯化核心技术,可实现湿电子化学品在线高效纯化分离,有效降低灌装、存储、传输等环节对其纯度的影响,降低最终产品的缺陷率,提升生产效率。
飞潮动态膜分离技术

MIGHTY全氟高效截留滤芯
• 先进的全氟结构,化学兼容性极佳
• 析出水平极低,适用于关键湿电子化学品过滤净化
• 独特的折叠技术,极高的截留效率,保证滤芯的高通量、低阻力,延长使用寿命
LIBRA全氟亲水PTFE滤芯
• 亲水性全氟滤芯,化学兼容性极佳
• 析出水平极低,适用于关键湿电子化学品过滤净化
• 改性PTFE滤膜,无需预润湿,节省启动时间,降低运营成本
• 专为净化晶圆清洗用电子化学品而设计,如至关重要的水基清洗剂 SC-1、SC-2 和SPM 等
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