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高粘度、高固含浆料硬囊滤芯 LibaGard 7芯
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2025.11.21
如何检测刻蚀气体过滤系统的残留颗粒
刻蚀气体过滤系统在半导体制造过程中承担着关键作用,其内部残留颗粒的检测直接影响工艺质量与产品良率。当前行业中主要通过物理采样与在线监测两类方法实现颗粒物检测。 物理采样法采用惰性材质的收集器在气体流道中捕获颗粒,通过电子显微镜或能谱分析仪对采集样本进行成分与粒径分析。该方法可获取颗粒的物理特性数据,但存在时间延迟性,适用于定期维护检查。在线监测则通过激光粒子计数器实时测量气体中的颗粒浓度,传感器安装在过滤系统进出口位置,通过数据对比直接反映过滤效率变化。 检测过程中需注意气体化学性质对检测结果的影响。腐蚀性气体环境要求传感器探头具备抗腐蚀涂层,而高温工况下需采用水冷或隔热装置保护检测设备。检测点位的布置也需遵循流体力学原理,优先选择气流稳定且无涡流的直管段区域。 针对不同粒径的颗粒需采用分级检测策略。大于0.1微米的颗粒可通过光散射原理检测,亚微米级颗粒则需借助电迁移率分析技术。
2025.11.17
飞潮赋能之旅 | 黄山疗休养纪实
2025年深秋,在上海奉浦开发区工会的精心组织下,来自飞潮Feature-Tec研发中心的代表徐工和来自生产一线的技工代表王工受邀参加了奉浦工业开发区工会开展的黄山疗休养活动。为期三天的旅程,既是一次寄情山水的身心休憩,也是一场浸润文脉的精神洗礼,更是飞潮对员工关怀的生动实践,让奋斗者在“大黄山”的灵秀与厚重中汲取了前行的力量。
2025.11.15
飞潮 Feature-Tec|极净电子特气,守护每一片晶圆
半导体工艺中气体需要99.999%的纯度甚至更高。飞潮Feature-Tec可以提供功能丰富强大的超纯气体过滤器,去除刻蚀气体中的微小杂质,对于如氯气等具有腐蚀性的气体,我们的全氟超纯气体系列滤芯可耐高温,耐强腐蚀,适合大宗气体、氧化性气体、电子特气以及腐蚀性气体过滤。
2025.11.14
飞潮UF·NF·RO三膜分离技术 | 重塑电泳漆废水回收
飞潮Feature-Tec的电泳漆超滤废水回收工艺主要通过膜分离技术实现电泳漆的有效回收和水资源循环利用,这对于降低生产成本和减少环境污染非常重要。电泳漆废水主要分为两大类:一是槽液清洗过程中产生的浓液,二是工件冲洗过程中产生的稀废水。飞潮Feature-Tec最新创新膜分离技术,借助优质滤芯、超滤膜,纳滤膜,RO膜来实现高效回收。
2025.11.13
高纯气体过滤技术如何解决刻蚀设备颗粒污染问题
在半导体制造领域,刻蚀工艺的稳定性直接关系到芯片性能与良率。刻蚀设备在运行过程中,气体输送系统可能携带微粒、水分或金属离子等污染物,这些杂质进入反应腔后会附着于晶圆表面,导致线路缺陷或短路。高纯气体过滤技术通过物理拦截与材料适配,为刻蚀设备构建起关键屏障。 颗粒污染来源与过滤必要性 刻蚀工艺中的颗粒污染来源复杂,包括反应气体携带的纳米级颗粒、设备零部件老化剥落物、以及环境洁净度波动引入的悬浮微粒。随着制程节点进入纳米级,即使每立方米气体中增加少量20纳米以上的颗粒,也可能使晶圆良率显著下降。因此,在气体进入反应腔前进行多重过滤成为保障工艺纯净度的核心环节。 过滤系统的技术特性 高纯气体过滤器通常采用全金属结构,例如316L不锈钢粉末烧结滤材,这种材料在高温环境下具有稳定性,可避免有机物的析出。其表面经过电解抛光处理,粗糙度控制在微米级,减少污染物附着风险。这类过滤器可适配
2025.11.07
飞潮FTKLN A纯化器|开启惰性气体净化新标杆
技术进步:膜分离、吸附材料 在惰性气体纯化中,除传统的低温分离、吸附、化学净化工艺外,新技术正在攻克稀有惰性气体回收效率问题。飞潮新材Feature-Tec紧跟过滤分离技术前沿趋势,针对 POU 终端客户需求研发了气体纯化器FTKLN A系列主要为提升高纯度惰性气体在微电子行的纯度一致性和最终纯度,利用科学的材料配比将惰性气体中水,氧,一氧化碳,二氧化碳等杂质深度脱除,保证最终使用点位的气体纯净。