半导体晶圆硅片废水过滤

飞潮解决方案

飞潮使用Selfclear速可清+Dycera®旋转陶瓷膜过滤系统的方案来解决晶圆硅片废水处理的问题。这些含有高浓度硅粉的晶圆硅片切削液首先由Selfclear速可清进行过滤后回收浓渣，过滤后的清液进入净液箱中备用，并且通过Dycera® 旋转陶瓷膜过滤系统对净液箱中的液体进行旁液过滤，使回用的清液更能满足晶圆加工的要求。这种解决方案过滤高效，经济环保，可以有效节约生产成本。

飞潮产品应用

Selfclear 速可清

飞潮生产的Selfclear 速可清是一种适用连续生产的新型自清洗过滤设备，它能够将液体中的颗粒自动过滤清除, 并形成干滤饼排出。同时它是一种定制型过滤系统，工艺可根据客户要求进行调整，适用于晶圆硅片废水过滤、催化剂回收、胺液脱硫等多种工艺。Selfclear 速可清的体积小，过滤效率高，能在系统不停车的情况下自动再生过滤元件，具有全自动、不停工、减少人工清理、无需更换过滤元件等特点，在连续化作业生产、高危操作环境等场合中得到了广泛的应用。

Dycera® 旋转陶瓷膜过滤系统

Dycera® 旋转陶瓷膜过滤系统是一种有效的强化膜分离技术，它的连续稳定过滤时间长，可对滤液进行浓缩处理，能应用于晶圆硅片废水过滤、发酵液过滤、医药过滤等。Dycera® 旋转陶瓷膜过滤系统通过动态错流过滤的原理，让膜片高速旋转，使滤液以切线通过的方式滤出，未滤液由于高速运动形成湍流，不断冲洗膜的表面，这种方法不仅防止滤膜的阻塞，保持过滤的正常进行，也可以提升膜通量，延长膜寿命。