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飞潮Feature-Tec半导体强氧化气体过滤方案

2026-01-13

半导体制造工艺中，强氧化性气体是刻蚀、清洗、掺杂、薄膜沉积等核心工序的关键耗材，其核心特点是氧化能力强、反应活性高，部分气体还具有强腐蚀性、毒性、易燃易爆等特性，对输送系统的密封、材质兼容性、过滤精度要求极高。具体分类及特点如下：

气体名称	化学式	工艺用途	腐蚀性	毒性	对过滤系统的关键要求
氧气	O₂	氧化层生长、CVD载气、清洗	低	无	316L不锈钢材质，PTFE滤芯，耐高压（≥10MPa）
臭氧	O₃	湿法清洗（去除有机物）、氧化层生长	中高	中	PFA/PTFE材质，低死体积，耐高温（≥80℃），高精度过滤（≤0.01μm）
氟气	F₂	干法刻蚀（Si、SiO₂）、清洗	极高	极高	蒙乃尔合金/哈氏合金外壳，PFA滤芯，绝对密封，无水环境
三氟化氯	ClF₃	干法刻蚀（Si、Si₃N₄）、腔体清洗	极高	极高	哈氏合金C276材质，PTFE/PFA滤芯，耐温（≥150℃），防泄漏设计
二氧化氮	NO₂	掺杂（氮源）、氧化层生长、刻蚀	中	中	316L不锈钢（钝化处理），PTFE滤芯，耐湿腐蚀
过氧化氢蒸汽	H₂O₂	湿法清洗（RCA清洗）、表面活化	中	低	PFA/PTFE材质，亲水滤芯，高精度过滤，防分解
氯气	Cl₂	干法刻蚀（Al、Si）、掺杂	中高	极高	316L不锈钢（钝化），PTFE滤芯，耐湿腐蚀，防泄漏

飞潮Gasfil ALO，为强氧化工艺安全而生

飞潮Feature-Tec自研发生产的超纯气体过滤器Gasfil ALO系列，内芯采用高纯氧化铝多孔陶瓷材料，过滤精度可达 1.5nm。专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，具备 30~3000L/min 流量的各种型号，非常适合小尺寸大流量需求点位应用，尤其对于氟气F₂气体，PTFE膜材不耐受，粉末烧结小尺寸通量又无法满足。

超纯气体过滤器Gasfil ALO系列满足超高纯（≥99.999%）的要求，滤芯材料需具备低析出、低吸附的特性，避免引入杂质。综合实际应用中客户的积极反馈，飞潮方案已成为强氧化工艺安全运行的可靠选择。

👍降低设备更换与维护成本： 316L不锈钢壳体，具备卓越的化学稳定性，即使在严苛的强氧化性气体环境下也能长期稳定运行，使用寿命大幅延长。

👍生产线 “0风险”保障：具备超高颗粒拦截效率，有效隔绝微米级杂质，配合 100% 完整性测试，确保输出气体绝对纯净，守护工艺良率。

👍高效率，低能耗：同时拥有高通量、低阻力特性，在保障高效率产出的同时降低系统能耗。

👍洁净交付，即装即用： 全程在洁净室环境下制造、测试及包装，杜绝二次污染。小尺寸设计适配紧凑型设备空间。出厂前通过 100% 氦气泄露检测，确保气体传输“零泄漏”，让您的生产环境更安全、更环保。

关于飞潮Feature-Tec

飞潮新材 Feature-Tec 深耕过滤、分离与纯化领域 20 余年，集研发、制造与检测验证于一体。服务客户覆盖半导体、FPD、生物制药、核电、锂电、汽车、食品饮料、石油化工、水处理、机械与设备加工、海洋装备、可再生能源等领域，提供涵盖过滤元件、分离设备、陶瓷膜过滤、磁性过滤、反冲洗过滤在内的全自动过滤系统。成功案例涵盖催化剂过滤回收、雷尼镍电磁过滤、纳米浆料浓缩洗涤、胺液脱硫过滤、活性炭脱色过滤、硅钢酸洗、回注水过滤、粉尘综合治理及废硫酸浓缩等创新过滤工艺。

飞潮Feature-Tec拥有全球化布局及通过 CNAS/ISO17025、GMP-Like认证的专业检测能力。可提供清洗验证、污染物分析、可提取物与浸出物研究、细菌截留工艺验证、化学兼容性研究、安全性评估、吸附评估及过滤效率检测等检测验证服务。欢迎联系垂询，定制高效过滤解决方案，携手共创绿色未来。

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