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半导体CMP工艺点位Slurry过滤解决方案

2025-08-22

CMP化学机械研磨（Chemical Mechanical Polishing），它是半导体制造中一种关键的晶圆表面抛光工艺，主要用于去除多余材料并消除表面高度差，确保后续光刻和沉积步骤的精度。是半导体器件制造工艺中的一种技术，使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。

化学机械抛光解决方案改进了创建多层半导体电路的过程。其中进行化学研磨的浆料我们一般称为研磨液slurry，由于化学不稳定性和处理步骤等问题，在研磨液slurry中会缓慢形成凝胶和附聚物，这些形成的大颗粒被输送到晶圆的表面，会导致晶圆表面微划痕等缺陷，从而导致晶圆产量重大损失，所以CMP过滤需要在不影响抛光性能的情况下去除导致大颗粒和团聚的缺陷至关重要。

CMP过滤产品&原理介绍

飞潮Lunaris CMP一体式过滤器专为半导体厂 CMP 工艺点位 Slurry 的过滤设计。可针对不同 Slurry 成分以及客户工艺差异点组合搭配合理的滤材，更科学的滤材搭配使得产品有效拦截大颗粒的同时维持原有的颗粒和粒径分布，确保工艺的稳定性。

产品特点&参数：

产品特点	更高的滤效与更长的滤芯寿命。滤芯搭配多样化拆装便捷省时间
产品应用	半导体 Slurry 过滤
壳体	聚丙烯(PP)
滤材	深层卷绕聚丙烯(PP)
密封圈	三元乙丙(EPDM)
最大操作压力	3.5bar @ 25℃

PP熔喷布以其空隙多、结构蓬松、抗褶皱能力好，具有独特的毛细结构的超细纤维增加单位面积纤维的数量和表面积，从而使熔喷布具有很好的过滤性。根据纤维直径可达到的1～5um，再配合不同的熔喷工艺，定义为不同精度。

图示AI 生成的内容可能不正确。

针对CMP行业开发的一次性过滤器是一种分级深度介质过滤器，专为去除研磨液中的硬颗粒和胶体而设计，具有卓越的过滤性能，平衡优越流量的同时延长使用寿命。深层梯度卷绕的膜层结构，延长使用寿命，实现保留Working Particle的同时定向拦截特定颗粒需求。飞潮Lunaris CMP过滤器与友商参数比对如下：

项目	Feature-tec@0.2um	友商1@0.2um	友商2@0.2um
系列	Lunaris 系列	CL Depth Filters	CMP Polishing Slurry Filters
过滤精度	50nm~1.0µm	0.2µm~1.0µm	0.1µm~3.0µm
长度(L)	5” (212mm)	5” (212mm)	5” (206mm)
接口形式	Connectology/3/8" Flaretek	Connectology/3/8" Flaretek	Connectology/3/8" Flaretek
外径(OD)	96.5mm	89mm	97mm
滤材	Melt-Blown(Depth)PP	Polymeric	Melt-Blown(Depth)PP
骨架/支撑	PP	PP	PP
O-型圈	TEV/EPDM	TEV/EPDM	TEV/EPDM
最大正向压差	3.5 bar@20℃	50 psi @ 20℃	0.3MPa @ 21℃
最大工作温度	90℃	90℃	90℃
流量压差	2slpm/20kpa	2slpm/11kpa	2slpm/38kpa

除了一体式过滤器，同时还有针对slurry生产客户提供的深层过滤筒式滤芯HWPP，使用多种精度梯度的聚丙烯滤材缠绕而成，拥有比普通熔喷滤芯更高的效率，深层的结构使其整个过滤面积要远远大于普通的熔喷滤芯，纳污量大、寿命长。

产品特点&参数：

产品特点	聚丙烯材质孔径均匀，比普通熔喷滤芯拥有更高的孔隙率，初始压差小；
	多层梯度结构，实现逐级过滤，寿命是普通熔喷的 2-3 倍；
	全聚丙烯结构，化学相容性好不使用任何粘合剂和表面活性剂，确保使用过程中没有化合物的渗出
典型应用	氧化硅、氧化铝、氧化铈Slurry、厂务 CDS 分配系统
滤材	聚丙烯
骨架与端盖	聚丙烯
外径	2.48"（63 mm）
内径	1.1"（28 mm）
最高使用温度	80°C
最大使用压差	3.43 bar @30°C（49.8 psi @86°F）
建议更换压差	2 bar @30°C（29 psi @86°F）

关于飞潮（Feature-Tec）

飞潮新材（Feature-Tec）专注过滤、分离、纯化领域20+年，集研发、设计、制造、检测验证于一体。截止到2025年，拥有上海、无锡2个生产基地，分别在上海、北京、大连、西安、合肥、新加坡设立了6个办事处。飞潮（Feature-Tec）检测验证中心已通过中国合格评定国家认可委员会（CNAS）审核，具备CNAS/ISO17025、GMP-Like体系在内的合规质量体系。

我们的过滤分离解决方案覆盖半导体电子工业、FPD光伏面板、汽车制造、食品饮料、生物制药、化工生产、水处理、石油开采、机械加工、绿色能源、海洋装备等领域。飞潮（Feature-Tec）的过滤元件包括滤芯、滤袋、滤布等。专业设备包括：全自动过滤系统、磁性分离系统、袋式过滤器、芯式过滤器、机加工液过滤、单芯过滤器、油气分离设备等。客户实践成功案例覆盖：催化剂过滤回收、雷尼镍电磁过滤、纳米浆料浓缩洗涤、胺液脱硫过滤、活性炭脱色过滤、硅钢酸洗应用、粉尘综合治理、废硫酸浓缩等创新过滤工艺技术。

我们可针对行业需求优化工艺参数，助力客户实现高精度定制、智能监测与绿色生产，践行“让世界更清洁、让生活更美好”的使命。欢迎联系飞潮（Feature-Tec），携手共创更加洁净美好的世界。

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