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飞潮全氟一体式过滤器VIGOROSO | 晶圆清洗过滤优选
2025-06-19
随着5G、人工智能、自动驾驶等新兴技术的发展，市场对高性能、低功耗芯片的需求将持续增加，进而带动半导体晶圆清洗机市场的繁荣。2025年全球半导体晶圆清洗设备市场规模预计达到 68.76亿美元（2024年为63.43亿美元），到2028年可能增长至 98.93亿美元，年复合增长率（CAGR）约 7.5%。2024年中国市场规模已达 206.24亿元，预计2028年增至 281.9亿元，增速快于全球市场，主要受益于国内半导体产业链扩张和政策支持（据产业信息网报道）。
半导体晶圆清洗是芯片制造的核心环节，旨在去除晶圆表面的微粒、有机残留等，保障后续工艺的顺利进行。 当前主流清洗方法包括湿法、干法及组合清洗技术。 随着器件尺寸步入纳米级，对清洗精度的要求也达到前所未有的高度，推动清洗技术朝着更高效、更环保的方向发展。 未来，采用超纯水、新型化学溶剂、先进等离子体处理等手段将成为主流。 同时，降低化学品用量、开发环保型清洗方案，以及融合大数据分析和机器学习算法实现智能监控与优化，将是提升清洗效率、降低成本和环境影响的关键。
飞潮过滤器VIGOROSO简介
面对半导体晶圆清洗日益严苛的需求，飞潮自研的全氟一体式过滤器 VIGOROSO，提供全聚四氟乙烯 (PTFE) 过滤解决方案，专为先进湿法刻蚀清洗工艺 (WEC) 设计。 该方案不仅确保卓越洁净度，还能有效去除各种酸、碱和其他工艺化学品中的颗粒，兼具广泛的化学兼容性和高通量特性，助力半导体晶圆实现高精度清洗。
VIGOROSO 全氟一体式过滤器广泛应用于半导体晶圆清洗过滤、平板显示制程工艺流程，以及半导体湿法刻蚀、清洗、高纯化学品生产、罐装、输送等关键环节。
高通量，化学兼容性广泛，专为先进湿法刻蚀清洗工艺设计。全聚四氟乙烯 (PTFE) 过滤解决方案专为先进湿法刻蚀清洗工艺 (WEC) 设计，在确保卓越洁净度的同时有效去除各种酸、碱和其他工艺化学品中的颗粒，兼具广泛的化学兼容性和高通量特性。
产品特色
- 多面积可选、高流量、长寿命
- 卓越的化学兼容性
- 100% 完整性测试
- 高滤效，能有效去除湿化品中的颗粒
- 焊接无添加剂，采用全氟材料热粘合工艺
- 预湿过滤器，可在水基化学品中快速启动
- 洁净室环境中制造
- 初始洁净度高，低颗粒脱落，更低的金属离子析出
飞潮CNAS检测验证——半导体过滤权威认证
除了半导体清洗过滤，飞潮还提供半导体相关检测服务，以最先进，最灵活的定制化检测分析服务，帮助客户优化工艺流程，实现安全生产。飞潮检测验证中心于2017年成立，在2023年通过中国合格评定国家认可委员会（CNAS）审核，拥有3大服务平台、6大中心实验室、包含CNAS/ISO17025、GMP-Like体系在内的合规质量体系、配备有国际进口的精密检测仪器以及10年以上工作经验的专业技术服务团队。提供半导体领域环境监控(超纯水、洁净室、空降污染分子)、物料检测(湿电子化学品、硅片表面等) 清洗验证、污染物分析(金属离子、颗粒物、有机物)等专业检测验证服务。
飞潮新材，值得信赖的的半导体过滤专业合作伙伴
飞潮新材是国际知名的过滤分离解决方案服务商，集研发、设计、制造、验证于一体，我们专注于过滤、分离、纯化领域20+年。我们严格遵循IS09001质量体系的运行要求,在产品设计、采购、施工等各个环节中采用标准化管理。同时，飞潮自建严密、完整的数据追溯体系，根据产品编码可查询各个生产环节，帮助客户获得始终优质的产品。期待与更多半导体行业伙伴的合作与实践，碰撞灵感的火花，持续提高半导体工艺环节的清洗效率与洁净度，同时助力企业降本增效、绿色高产。
联系飞潮
飞潮新材是国际知名的过滤分离解决方案服务商，集研发、设计、制造、验证于一体，我们专注于过滤、分离、纯化领域20+年，截止到2025年，拥有上海、无锡2个生产基地，分别在上海、北京、大连、西安、合肥、新加坡设立了6个办事处。以创新工艺和精益制造技术为依托，以过滤分离系统解决方案为驱动，为客户优化工艺流程，提升产能效率，稳定产品质量。我们可根据具体行业需求进一步细化工艺参数或案例数据，助力客户实现全链路覆盖、高精度定制、 智能监测、绿色低碳生产，秉承“让世界更清洁，让生活更美好”的企业宗旨，践行客户关爱，持续创新，追求卓越。
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